納米光電子器件的最新進展及發(fā)展趨勢
一、前言
當前,高速發(fā)展的信息工業(yè)對集成電路器件集成度的要求越來越高,這促使了人們不斷探索能夠突破器件尺寸極限的途徑。隨著對亞微米、深亞微米和微電子機械系統(tǒng) (MEMS)的深入研究,納米電子學和納米光電子學應運而生,納米量子器件也隨之產(chǎn)生。納米量子器件可簡單地分為納米電子器件和納米光電子器件。納米電子 器件包括共振隧穿器件(RTD)、量子點(QD)器件和單電子器件(單電子晶體管和單電子存儲器)等;納米光電子器件則主要包括基于應變自組裝的納米激光 器(如量子點、量子線、量子阱激光器)、量子點紅外光電探側器、納米級硅化鉑薄膜肖特基勢壘紅外光電探測器等[1、2]。
二、納米光電子學
光電子技術正向光電子集成和納米光電子集成方向發(fā)展,其與納米電子技術相結合,便產(chǎn)生了納米光電子技術。而光學、光電子學、納米光學與納米電子學相結合,則 產(chǎn)生了一門嶄新的學科—納米光電子學。納米光電子學是研究納米結構中電子與光子的相互作用及其器件的一門高技術學科,它是在納米半導體材料的基礎上發(fā)展起 來的,代表了納米電子學今后的發(fā)展方向,是納米光電子器件的基礎。并且,它還將成為納米光通信技術發(fā)展的基礎。
納米電子學的遵循的發(fā)展過程是電子學→納米技術→納米光電子學→納米電子技術→納米電子工程,而納米光電子學的發(fā)展模式則是光學→光電子學→納米光學→納米電子學→納米光電子學→納米光電子技術→納米光電子工程。
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