光學(xué)鍍膜機(jī)的清洗
設(shè)備使用一個(gè)星期后(三班),因鍍料除鍍在工件表面 外,亦因無定向性而工作室 內(nèi)的襯板上鍍料,并越鍍越厚,該層膜厚因組織、繞疏松,吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時(shí),應(yīng)對工作室及襯板進(jìn)行清洗,如不必要拆落來的部件,可用砂紙打磨干凈,襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里,氫氟酸和水的比例看需要浸泡時(shí)間長短以及不傷襯板為原則。
注:襯板必須烘干水份才能安裝,烘干前,襯板的水分盡量抹干,工作架等部件用砂紙清潔后,需要把真空室的所有灰塵清理干凈,此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時(shí),真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。
因使用電子槍及離子源輔助鍍膜,可能會造成清潔困難,可使用噴沙等方法來清潔。
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